フォトレジスト

製品の利点

- 半導体製造プロセス

- ヘッド製造プロセス

コメント

• レジストは、半導体パターンなどの回路パターンをシリコンウェハ上に転送するフォトリソグラフィプロセスに使用される感光性樹脂である。これらはシリカゲルウエハ表面に回路パターンを形成し、その光化学反応は光照射によるものである。回路パターンはフォトマスクにより描画される。