CMP後クリーナー

製品の利点

- TMAH化学品なし

- PH値：11 ~ 13

コメント

• CMP後洗浄剤は、CMP（化学機械研磨）を除去した後にウェハ上に残留する金属、有機残留物、スラリー、その他の不純物を除去するための洗浄剤である。